Kontroler masowy przepływu gazu (NF3) AERA TC FC-PA7820CKontroler masowy przepływu AERA przeznaczony do pomiaru i kontroli przepływu gazów.Pomiar i kontrola przepływu: Trifluorek Azotu (0.500)Zakres pomiaru: ;0 - 35 SLMKomunikacja: Standard 9-Pin DPrzyłącza gazowe__